無油真空泵獲得技術因其清潔抽（chōu）空，節（jiē）能環保（bǎo）等特點逐漸在各（gè）個領域得到了應用。本文就無油真空泵的特點無油真空泵在多晶矽鑄錠爐中的應用進行一一的分（fèn）析。多晶矽（guī）鑄錠爐的生產工藝是將熱交換法和布（bù）裏曼法進行了結合，矽在鑄錠爐內發生結晶，矽錠生產加熱過程中底部的（de）隔熱層和爐的保（bǎo）溫層確保了嚴密的閉合狀態，從而避免了矽錠生產熱量的（de）外泄和溫度（dù）的不均衡造成的矽錠受熱不均衡，為矽錠（dìng）長晶創造了良好的環境。

日本人人交無油活塞真空（kōng）泵在泵腔內具有若幹組相互齧合的爪型轉子。轉子與轉子之間及轉子與泵腔之間並不接觸，留有微小的間隙，不用任何潤滑（huá）劑，從而保證了清潔的真空環境。泵的結構采用多級轉子串（chuàn）連的形式，每組轉子分別（bié）位於不同泵腔做同步（bù）反方向運動。泵腔被爪型轉子分隔為吸氣腔和（hé）排氣腔兩部分。隨著轉子連續運轉，進行（háng）循環的吸（xī）氣排氣過程，實現了（le）泵連續（xù）抽氣的目的。

接（jiē）下來，日本人人交小編（biān）給大（dà）家介紹一下無油活塞真空泵的工作原理和特點。

無油活（huó）塞真空泵工作原理：

連杆（gǎn）通過軸承與（yǔ）偏心壓裝在一起，偏心輪鎖（suǒ）緊在電機軸上，由於轉軸（zhóu）的旋轉，帶動連（lián）杆往複運動（dòng），從而實現空氣的的吸入、壓縮和排出過程（chéng）。

無（wú）油真空泵的特點：

1、在使用真空，排氣的場合不含有油（yóu）分，不會像油式真空泵那樣對作業環境或製品造成汙染，能夠在各個領（lǐng）域使用。 　　

2、與油式真空泵相比，不需要給泵（bèng）加油，基本不需要點檢和檢修。 　

3、運轉（zhuǎn）聲音低，使用壽命長。同（tóng）時裝備有真空壓力表，調壓控製器。 　　

4、由（yóu）於使用了特殊的自潤滑碳精片，具有很強的耐磨性。 　　

5、由於能夠高速運轉，因此可以與電機直連。這樣可使（shǐ）泵小型化。 　　

6、由於多枚滑片的高速回轉，可使脈動很小，吸排氣穩定（dìng）。

多晶矽鑄錠爐已經成為太陽能光伏（fú）產業發展的重要設（shè）備，加強（qiáng）其生產工（gōng）藝控製技術和設備組成情況的研究有利於提高鑄錠爐（lú）的生產水平，促進矽片生產質（zhì）量的提高和太陽能光伏電池製造（zào）水平的進步。

多晶矽的加工工藝對於真（zhēn）空（kōng）度的要求較高，無（wú）油真空泵（bèng）在多晶矽鑄錠爐中的應用就是保持矽錠可以在（zài）真空狀態下得到處理。不同的工藝環節對（duì）於真空度的要求存在較大的差異，多晶矽鑄錠爐用無油真空泵需要對爐內的壓力和真空狀態進行控製和調整。多（duō）晶矽鑄（zhù）錠爐除了有基礎的抽氣設備之外還設置了壓力檢測裝置，確保爐內壓力在合（hé）適的範圍之內（nèi），為多晶矽矽錠的生長提供良好的氣氛。