東莞市普（pǔ）諾克真空（kōng）科技有限公司旗下的旋片（piàn）真空泵在微電子工業中成功應用（yòng）。旋片真空（kōng）泵多為中小型（xíng）真空（kōng）泵。旋片真空泵有單級旋片真空泵（bèng）和（hé）雙（shuāng）級真空泵兩種。所謂雙（shuāng）級旋片真空泵，就是在結構上將兩個單級泵串聯起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。

微電子技術要求電子元器件和電路的尺寸越來越小，集成度要求越來越高。這與真空技術的應用密不可分，特別是超大規模（mó）集成電路的微細加工技術，其幾何圖形結構的形成、超薄層生長技術、粒子束注入技術都需要高質量、清潔的真空（kōng）環（huán）境，可見其發展對真空技術、裝備的依（yī）存性。目前，當今的超大規（guī）模集成電路的工（gōng）序需（xū）要（yào）有真空條件（旋片（piàn）真空泵能夠提供）。

因此，微電子技術中，進口旋片真空泵在這起到一定的作用。

微電子技術是（shì）建立在以集成電路（lù）為核心的各種半導體器件基礎上的高新電子技（jì）術（shù），特點（diǎn）是體積小、重量輕、可靠性高、工作速度（dù）快，微電子（zǐ）技（jì）術對信息時（shí）代具有巨大的影（yǐng）響。

微電子技術是在傳統（tǒng）的電子技術基礎上發展起來的。之所（suǒ）以稱之為“微電子”，顧名思義就是（shì）由於它是在微小的範（fàn）疇內的一種先進技術，其特征（zhēng）是“四微”：①它對信號的加工（gōng）處理是在一種（zhǒng）固（gù）體內的微（wēi）觀電子運（yùn）動中實現的；②它的工作（zuò）範圍是固體（tǐ）的甚（shèn）至晶格級微區；③對信號的傳遞交換隻（zhī）在極微小的尺度內進行；④它的容積很大，可以把一個電（diàn）子功能部件，甚至一個子係統集成在一個微型芯片上。總之，微電子技術是指在幾乎肉眼看不見的範圍（wéi）內進（jìn）行工作的一種獨特而神奇的特種技術（shù）。

微電子技術（shù）對電（diàn）子產品的消費者市場也產生了深（shēn）遠（yuǎn）的影響（xiǎng）。價廉、可靠、體積小、重量輕的微電子產（chǎn）品層出不窮。電子技術產品和微處理器不（bú）再是專門（mén）的科學（xué）儀器世界的貴族（zú），而落戶於各式各樣的普及（jí）型產品（pǐn）之中，進入普通百姓家。例如電子玩具（jù）、遊戲機（jī）、學習機以及其他家用電器產（chǎn）品等。就連汽車這種傳統的機械產（chǎn）品也滲（shèn）透進（jìn）了微電子技術，采（cǎi）用（yòng）微電子技術的電子引擎監控係統、汽車安全防（fáng）盜係統、出租（zū）車的計價器等已得到廣泛的應用，現代汽車上有時甚至要有十幾到幾十（shí）個微（wēi）處理器。

本文主要介紹一下“旋片真空泵在微電子工業中成功應用”， 旋片真空泵廣泛地（dì）應用於冶（yě）金、機械、軍工、電子（zǐ）、化工、輕工、石油及醫藥（yào）等生產和科（kē）研部（bù）門。已普遍應用於食品的（de）真空包裝，塑料工業的真空吸塑成形。印刷行業的紙張輸送，真空夾具，以及真空吸引等。