真（zhēn）空係統在掃描電鏡中的應用，掃描電鏡被廣泛的應用在半導（dǎo）體、實驗室等領域（yù）。掃描電鏡也是（shì）借助高（gāo）真空係統。電鏡的高真空係統是有分子泵和前級泵組成，分子（zǐ）泵一般采用脂潤滑或磁懸浮的分（fèn）子泵，前級泵是采用雙級油（yóu）旋片真空泵，或無油渦旋泵作為前級泵。前級泵是輔助分（fèn）子泵運行的，前級（jí）泵先將（jiāng）腔體（tǐ）抽到10pa以後再啟動分子泵。分（fèn）子（zǐ）泵啟動後（hòu）再將係統抽到-3pa~-4pa左（zuǒ）右。

掃描電子顯微鏡，是自上世紀60年代作為商用電鏡麵世以來迅速（sù）發展起來的一種新型的電子光學儀器，被廣泛地應（yīng）用於化學、生（shēng）物、醫學、冶金、材（cái）料、半導體製造、微電路檢查（chá）等各個研究領域和工業部門（mén）。

在材料領域中，掃描電鏡技（jì）術發揮著極其重（chóng）要（yào）的作用，被廣泛應用於各種材料的形態結構、界麵狀（zhuàng）況、損傷機製及材料性能預（yù）測等方麵的研究。利用掃描電鏡可（kě）以直接研究晶（jīng）體缺陷及其產生過程，可以觀察金屬材料內（nèi）部原子的集結方式和它們的真實邊界，也可以觀察在不同條件下邊界移（yí）動的方式，還可以檢查晶體在表麵機械（xiè）加工中引起（qǐ）的損傷和輻射損傷（shāng）等。

真空係統在掃描電（diàn）鏡中（zhōng）具有什麽產（chǎn）品特點呢？

應（yīng）用於掃描（miáo）電（diàn）鏡的真空係統具有製樣簡單、放大倍數可調範圍寬、圖像（xiàng）的（de）分辨率高、景深大、保真度高（gāo）、有真實的三維效應等特點，對於導電材料，可直接放入樣品室進行分析，對於導電性差或絕緣的樣品則需要噴鍍導電層（céng）。

真空係統主要包括真空泵和真空柱兩（liǎng）部分。真空柱是一個密封的柱（zhù）形容器。真空泵用來在真空柱內產生（shēng）真空。有機械泵（bèng）、油擴散泵以（yǐ）及渦輪分子泵三大類，機械泵加油擴散泵的組合（hé）可以滿足（zú）配置鎢燈絲槍（qiāng）的掃（sǎo）描電鏡的真空要求，但對（duì）於裝置了場致發射槍或六硼化鑭及六硼化（huà）鈰（shì）槍的掃描電鏡，則需要機械泵加渦輪（lún）分子泵的組合（hé）。成象係統和電子束係統均內置在真空柱（zhù）中。真空柱底端（duān）即為右圖所示的樣品室，用（yòng）於放置樣品。

掃描電鏡可（kě）粗略分為鏡體和電源電路係統（tǒng）兩部分。鏡體部分由電子光學係（xì）統、信號收集和顯示係統以及真空抽氣係統組成（chéng）。東莞真（zhēn）空係統的作（zuò）用是為保證電子光學係統（tǒng）正常工（gōng）作（zuò），防止樣品汙染，一般情況下要（yào）求保持10-4~10-5Torr的真（zhēn）空度。

掃描電鏡需要（yào）真空的原因包括：一是電子束係統中的燈絲在普（pǔ）通大氣（qì）中會迅速氧化而失效，所以需要抽真空。二是（shì）為（wéi）了增大電子（zǐ）的平均自由程，從而使得用（yòng）於成象的電子更多。

日本人人交真空係統在掃描（miáo）電鏡中的應用，能夠（gòu）靠電子束掃描物體表麵來成像的。空氣的存在會使的電子束變型，影響掃描效果，因此需要使用到真空係統抽真空。如果對日本人人交真空係統感興趣的（de）話，都可以撥打我司的（de）客戶熱線。