薄膜技（jì）術多為無形但高效的，其（qí）應（yīng）用包括：建築玻璃上鍍（dù）膜以隔熱和防輻射，眼鏡（jìng）片（piàn）上鍍膜以防止眩光和劃傷，光盤與（yǔ）冷光燈鍍（dù）膜以加強光和射（shè）線的反射，工具和軸承上鍍膜以避免磨損等。如果不（bú）采用旋（xuán）片真空泵及特殊設計的真空部件，這些都不可能實現。那麽，旋片真空泵在薄（báo）膜技術領域中（zhōng）的應（yīng）用究竟發揮（huī）一個什麽（me）樣子的作用（yòng）？跟著普諾（nuò）克的小編一起來（lái）了解下。

薄膜分類（lèi）（按功能及其應用領域（yù））：

（1）電（diàn）學薄（báo）膜

①半導體器件與集（jí）成電（diàn）路中使用的導電材料（liào）與（yǔ）介質薄（báo）膜材料

②超導薄膜

③光（guāng）電子（zǐ）器件中使用的功能薄（báo）膜

④薄膜敏感元件與固態傳感器

⑤薄膜電阻、薄膜電容、薄膜阻容網絡與混合集成（chéng）電路

⑥薄膜太陽能電池（chí）

⑦平板顯示器件

⑧用ZnO、AIN等薄膜製成（chéng）的聲表麵波濾波器

⑨磁（cí）記錄（lù）薄膜與薄膜磁頭

（2）光學薄膜

減反射膜、反射膜、分光鏡、濾光片；

照明光（guāng）源（yuán）所用的反熱鏡與冷光鏡（jìng）薄膜；

建築物、汽車等交通工具所用的鍍膜玻璃；

激光唱片（piàn）與光盤中的光存儲薄膜；

集成光學元件所用的介質薄膜與半導體薄膜（mó）。

（3）硬質膜、耐（nài）蝕膜、潤滑膜（mó）

（4）有機分子薄膜

（5）裝飾膜

（6）包裝（zhuāng）膜

薄膜是一種特殊的物質形態，由於（yú）其在厚度這一特定方向上尺寸很小，隻是微觀可測的量，而且在厚度方向上由於表麵、界麵的存（cún）在，使物質連續（xù）性發生（shēng）中斷，由（yóu）此使得（dé）薄膜材料產生（shēng）了與塊狀材（cái）料不（bú）同的獨特性（xìng）能。薄膜的製備方法很多，如氣相生長（zhǎng）法、液相生長法（或氣（qì）、液相外（wài）延法）、氧化法、擴（kuò）散與塗布法、電（diàn）鍍法等等，而每一種製膜方法中又可（kě）分為若幹（gàn）種方法。薄膜技術涉及（jí）的範圍很廣（guǎng），它包括以物理氣相沉（chén）積和化學（xué）氣相（xiàng）沉積為代表（biǎo）的成膜技術，以離子束刻蝕為代表的微細加工技術，成膜、刻（kè）蝕過（guò）程的監控技術（shù），薄膜分析、評價與檢測技術等（děng）等（děng）。現在（zài）薄膜（mó）技（jì）術用（yòng）旋片真空泵在電子元器件、集成光學、電子技術、紅外技術、激光技術以及航天（tiān）技術和光學儀（yí）器等各個領（lǐng）域都得到了廣泛的（de）應用，它們不僅成（chéng）為一間獨立的應用技術，而且成為材料表麵改性和提高某些工藝水平的重要手段。

除了旋（xuán）片真空泵（bèng）在（zài）薄膜技術領域中的應用（yòng），日本人人交旋片真空泵還常（cháng）常應用（yòng）於環保的工藝，有利於取（qǔ）代那些危（wēi）害（hài）環境的工藝。真空泵及其它真空部件，可廣泛應用於以下各工業領域：如測量（liàng）儀器和檢漏儀、食（shí）品真空包裝、環保冰箱、空調、高（gāo）純度與高強度金屬的生產、燈泡和（hé）彩色顯像管、平麵顯示器製造等。