進口真空泵維修廠家表示真空係（xì）統（tǒng）的日常維護（hù）十分重要，可避免在出現故障時手足無措、並能盡快排除故障使設備（bèi）正常運轉。東莞（wǎn）市日本人人交真空（kōng）科技有限公司通過以下內容對（duì）真空係統的主要部件維護作簡單的介紹，同時，針（zhēn）對真空係（xì）統（tǒng）出現故障情況分析其原因（yīn）以及真空泵維修之真空係統故障排除的方法，也（yě）會整理出來提供給各位進行參考一下（xià）的。

真（zhēn）空泵維修一：真空係統的主要部件及維護方法

1、旋轉泵：要定期檢查旋轉泵的油平麵，及時補充油確保泵運轉正常。泵皮（pí）帶（dài）用久後容易打滑，可適量加些皮帶脂或稍調（diào）節皮帶鬆緊度，可延長（zhǎng）皮帶壽命。

2、擴散泵：擴散（sàn）泵的工作性能好壞是決定電鏡（jìng）獲（huò）得高真空的關鍵，而（ér）影響擴散泵性能（néng）的主要原因是油質的（de）下降和油量的減少為了減少擴散（sàn）泵油（yóu）的揮發和碳化，平時儀器要定期抽（chōu）真空，換樣品時盡量減少樣（yàng）品室在大氣中停留的時間，關機後一般要十（shí）分鍾後才停冷（lěng）卻水；有條件的冷卻最好采用循環水（shuǐ）箱和去離子水，以減（jiǎn）少水垢的形（xíng）成，保持冷卻性能；擴散泵油在正常情況下可連續使用十年。

真空（kōng）泵維修二（èr）：真空係統（tǒng）故障原因

（1）低真空正常，高真空上（shàng）不去。儀器在正常使用（yòng）中光柵突然出現閃爍（shuò），立即關高壓後控製麵板指示燈除（chú） POWER亮，其餘都熄滅，真空（kōng）度下降。數分鍾後用控製（zhì）麵板上的檢測器測真（zhēn）空度（ⅤAC）電流一直在025mA.未聽見高真空主閥啟動的聲音。查K板PD、HVAC指示燈熄滅，抽真（zhēn）空程序不能（néng）正常進行。從故障現象看引起儀器不正常的原因是：擴（kuò）散泵工作不正常；計算機真空控（kòng）製部分失控。

（2）儀器自動關機，處於保護狀態：一開機 POWER指示（shì）燈亮，機械（xiè）泵響聲正常，15分鍾左右擴（kuò）散泵（bèng）（DP）指示燈亮，不久PREEⅤAC、EVAC指示燈亮，一會PREEⅤAC、EVAC指（zhǐ）示（shì）燈滅（miè），馬（mǎ）上PREEⅤAC、EVAC指示燈又亮，然（rán）後儀器自動關機處於保護（hù）狀態。引起此故障的原因有下列幾種情況：a.主電源電壓不（bú）正（zhèng）常；b.真空係統不正常； c.高（gāo）壓電路故；d.計（jì）算機邏輯控製電路故障等。

真空泵維修三：真空係統故障排除方法

（1）檢查發現進出口冷卻水溫度一樣，用手輕摸擴散泵有餘熱，估計是加熱器或加熱電路有（yǒu）問題，測加熱電（diàn）路正常，拔下加（jiā）熱器插頭，測二端電阻為（wéi）∞，說明擴散泵加熱（rè）器損壞，換上（shàng）加熱（rè）器真空係統恢複正常。

（2）經檢查發現故障是擴散泵冷（lěng）卻水溫度檢測器損壞（huài）造起，更換（huàn）溫度檢（jiǎn）測器後故障排（pái）出。

要保持真空係統的良好性能（néng），必（bì）須保證係統的暢通清潔（jié），首先，做好儀器的使（shǐ）用狀況和維護記錄，每次開機都要注意查看儀器運轉是否正常。這（zhè）就是真空泵維修之真空（kōng）係統（tǒng）故障排除最佳的方法，而且減少後續的人力物力財力。隻需要（yào）在使用的過程中花費一點點時間進（jìn）行檢查，真空係統運行的時候就可以有一點保障了。