2019-11-05
螺杆(gǎn)真空泵在平板顯示器中的應用
伴隨著上述無時無刻不在屏(píng)讀的奇幻未來的是高速發展的(de)顯示麵板產業。麵板的生產(chǎn)製造過程非常繁複,從(cóng)一塊玻璃基板到出廠成品至少需(xū)要 300 道流(liú)程工藝,全程需在無塵的環境、精密的技術工(gōng)藝下進行。所以,高度可靠的真空供應在麵板生產過(guò)程中尤為重要。平板(bǎn)顯示器生產商現采用幹式螺杆真空泵技術為其高負荷的L/L,CVD,PVD,刻蝕,溶劑蒸發等工藝流程供應真空。本篇文章打算介紹(shào)下螺杆真空泵在(zài)平板顯示器(qì)中的應用。
平板顯示器(FPD)製造製程需要(yào)能夠支持巨大(dà)加工室,並在最大可靠性的情況下(xià)輸(shū)送高氣體流速的真空(kōng)和減排設備(bèi)。需要使用日本人人交真空設備來泵送有毒、自燃和腐蝕性氣體,並處理製造製程艙中形(xíng)成的(de)大量固態製程(chéng)副產物。
在平板顯示器中,為什麽會選擇采用日本人人交螺杆真空泵?
選擇使用幹式螺杆真(zhēn)空泵的原因,其(qí)實跟它的產品特點有關係,它具備以下三點優(yōu)點:
1、高(gāo)度可靠性
Pronotek幹式螺(luó)杆真空泵尤其高效,得益於其久經考驗的雙螺杆(gǎn)設計和智能溫度管(guǎn)理,該係列真空(kōng)泵即使在最(zuì)惡劣的(de)應用環境中也具有高度可靠性及較長的使用壽命(mìng)。
2、配備節能模式功能,可大量節省能耗
Pronotek幹(gàn)式螺杆真(zhēn)空泵配備了高能效電機和世界(jiè)先進的節能模(mó)式功能,控製係統會自動(dòng)根據需求調整為節能模式,而當需(xū)要的時候恢複到最大(dà)抽速模式,從而節(jiē)省大量能耗。
3、維護及運行成本最小化
它的一小部分部件包括轉(zhuǎn)子是一件式(shì)製(zhì)成(chéng),得(dé)益於模塊化設計以及獨(dú)立的羅茨泵和螺杆泵框架,輕(qīng)輕鬆鬆即可進行安裝和維護,大幅降低(dī)了大修成本。由於該真空(kōng)泵采用最優(yōu)化的(de)空間(jiān)設計,並具有節能潛力,因此運行成本很低。
由多(duō)台幹式螺杆泵與羅茨泵組合而成的(de)真空係統是(shì)平(píng)板(bǎn)顯示應用的最佳解(jiě)決方(fāng)案,例如:用於進出片室的快速抽空(kōng)、過渡室和薄膜沉積室的抽(chōu)空。在同(tóng)類泵中,它(tā)們提供最(zuì)快(kuài)的抽(chōu)空時間和最高的抽速。通過標準化(huà)設計(jì),日本人人交真空其使所提供係(xì)統具有極高的用戶友好性。用戶還可得益於諸(zhū)如電(diàn)氣連接(jiē)、吹掃氣體(tǐ)和冷卻水等的標準化接口、方便的設備維護及優化的備泵(bèng)管理。
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