因真空電（diàn）子束焊機具有焊（hàn）接能量利用率高、焊接質量好等優點（diǎn），但目前真空電子束焊機存在輔助工作消耗時間長、消耗（hào）能（néng）源（yuán）多的缺點，直接影響著產品的成本和價格。本文針對上述提到的問題，提出了一種新型真空電子束焊（hàn）機。日本人人交將采用真空（kōng）係統（tǒng）在（zài）低真空電子束焊機中應用，希（xī）望能夠（gòu）解決問題。

什麽是（shì）低真空電子束焊機？

低真（zhēn）空電子束焊（hàn）機是指電子槍和（hé）焊接室分隔成兩部分，電子槍的真空（kōng）度高於0.0133Pa而焊接室真空度為1.33~66.65Pa的電子束（shù）焊（hàn）機。

電子束焊機通常（cháng）分為高真空、低真空和非真空三種類（lèi）型（xíng）。

1）高真空電子（zǐ）束焊機焊接（jiē）

在高真空工作室內（nèi）進行。工作室和電（diàn）子槍可用一套真空機組抽真空，也可用兩套（tào）機組分別抽真空。為防止擴散泵油汙染工作室，工作室和電子槍室通道口處設有隔離閥。

2）低真（zhēn）空電子束焊機焊接

在低真空工作室內進行，但電子槍仍可在高真空條件下工作。電子束通過隔離閥和氣阻通道進入工作室。電子槍和工作室各（gè）用一（yī）套獨立的抽氣機組單獨（dú）抽真（zhēn）空。

3）非真空電子束焊機焊機

沒有真空工作室。電子束（shù）在高真空條件下產生，然後通過一組光（guāng）闌、氣阻通道和若幹級真空小室，引入到大氣壓力下的環境中對（duì）工作進（jìn）行施（shī）焊（hàn）。各真空室采用獨立的抽真空係統，以便在電子槍和大氣（qì）間形成壓力依次增大的真空梯度。

選用日本人人交真空係統，對新型低真（zhēn）空電子束焊接機具有真空係統（tǒng）簡單，設備成本低，使用方便，更換被焊零件後抽氣時間短，對被焊零件清洗要求低等優點。

在電子束真空焊接過程中，電子（zǐ）束從槍室中逸出後需在工作室（shì）運動一段距離才能到達工件表麵，這（zhè）樣子勢必造成電子在工（gōng）件室（shì）的散射（與空氣分子等碰（pèng）撞）。如果真空度不夠，嚴重的電子束散射肯定會降低電子束的能量密度，影（yǐng）響電子（zǐ）束穿透能力，從而影響（xiǎng）工件的焊接質量。

首先，實現了（le）全（quán）時真空工作倉係統；然後，實（shí）現了真空工作倉內的上、下料工作；最後，通過實驗，對比了新型焊（hàn）機和普通焊機的生產效率。實驗結果表明，低真空電子束焊機用真空係（xì）統應用（yòng）於批量生產中，優勢明顯。對真空電子束技術的發展提供了有價（jià）值的參考。

真空係統在（zài）低真空電子束焊（hàn）機中應用必須滿足如下幾個要求：

①槍室和焊接室之（zhī）間的壓差要足夠的大，以保證槍室的工（gōng）作壓強不高於6.6×10^-2Pa，而且（qiě）要保證電子槍的陰陽極區域的氣壓盡可能穩定。

②焊接室的工作壓力處（chù）於低真空狀態，但要保證：電子束在工件上的穿透（tòu）能力接近高真空條件下的穿透能力；在低真空狀態下的（de）焊接氣氛要保障達到優良的焊（hàn）縫冶金質量。

③電子束在低（dī）真空區飛行的距離盡可能短，以減少電子束的（de）散射損失。

由於在氣體中飛行的（de）電子同氣體分子和其它粒子間會發生相互作用，又由於（yú）核電場的作（zuò）用，會造成部分電子偏離原來的路線，這一類的離散叫彈性散射。電子的彈性散射又同氣體分子的（de）種類、氣體（tǐ）密（mì）度、電子能量（或加速電壓）以及（jí）電子飛行的路程（chéng）有關。國外在這方麵作了不少研究工作。大（dà）量實踐都證明了加速電壓為60kV時，電子束飛行距離為500mm左右。當焊接室壓力為3Pa～4Pa時（shí），電（diàn）子束在工件上的穿透能力基本上同高真空條件下一樣。當焊接室（shì）壓力升高到6.6Pa時，仍能得（dé）到非常滿意的穿透性能。