氦質譜檢漏技（jì）術是真空檢漏領域裏不可缺少的一種技術，由於（yú）檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受（shòu）其他氣體的幹擾，在（zài）電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏（lòu）儀的真空係統（tǒng）是由哪些設備組合而成的呢？氦質譜（pǔ）檢漏儀的分類（lèi）和正確的保養方法都（dōu）是本篇文章重點介紹的內容（róng），當然，還要給大家闡述下真（zhēn）空係統在氦質譜檢漏儀中的應用情況。

氮質譜檢（jiǎn）漏儀是用氦氣為示漏氣體的（de）專門用於檢漏的儀器，由離子源、分析器、收集（jí）器、冷陰極（jí）電離規組成的質（zhì）譜室和抽氣係（xì）統（tǒng）及電氣部分（fèn）等組成。其分（fèn）類有：①單級磁偏轉型氦質譜檢漏儀，②雙級串聯磁（cí）偏轉型氦質譜檢（jiǎn）漏儀，③逆流氦質譜檢漏儀這三種。

氦質譜檢漏儀的（de）優勢特點

1.采用便攜式設計

2.設備外型美觀小巧

3.采用液晶觸摸屏設計

4.有通訊接口

5.可以方便地將檢漏數據輸出

關於真空係統在氦質（zhì）譜檢（jiǎn）漏儀中的（de）應用（yòng）情況，由東莞市日本人人交真空科（kē）技有限公司進行整理。

氦（hài）質（zhì）譜檢（jiǎn）漏儀的真空係統部分由分子泵（bèng）、前級機械泵組成。

日本人人交真空係統的特點為：

1.低（dī）噪音、低振動。

2.空氣冷（lěng）卻，方便容易。

3.在高溫環境（jìng）下（xià）仍良好運作。

4.在低真空壓力下仍保（bǎo）持良好抽氣速（sù）度（dù）。

5.內置（zhì）濾心和過（guò）濾器，可達（dá）高度過濾效果。

6.內置單（dān）向閥門，防止真空油逆流。

7.結構簡單，體積小，節省空間。

8.多功（gōng）能概念（niàn），可配合客戶的特別配置。

9.容易保養。

在常（cháng）規（guī）檢測時通常由前級機械（xiè）泵（bèng）對被檢件預抽真空，當真空度達到一定壓（yā）力後，再進入（rù）真（zhēn）空係統部分；被（bèi）檢（jiǎn）件在檢（jiǎn）測前會被要（yào）求進（jìn）行清（qīng）潔前處理，以防（fáng）止粉塵、顆粒（lì）物等汙染物進入真空係統；否則將直接汙染真空（kōng）係統，甚至（zhì）造成真空泵損壞；所以（yǐ）被檢件的清（qīng）潔前處理及對（duì）設備自身定（dìng）期的保（bǎo）養清理尤為重要。

設備自身（shēn）保養小知識

（1）前級真空泵的定期換油及深度保養；

（2）電磁閥組的超聲清（qīng）洗（xǐ）；

（3）質譜模塊（kuài）組件的超聲清洗以及（jí）分子泵（bèng）的定期保養維護。

東莞普諾（nuò）克真空科技有限公司專注於真空行業，是一家集（jí）設計、研（yán）發、產銷為一體的真空設備專業性企業。本公（gōng）司專業從事（shì）中央真（zhēn）空係統設計及安裝、真空（kōng）係統控製、真空負壓係統及各類真空應用設備。日本人人交擁有專業的技術人才和檢測設備，為各行業提供適用的真空係（xì）統設計（jì）和（hé）安裝，並針對個案（àn）設計，量身定造，為企業解決眾多真空應用方麵的難題，深受用戶歡迎。